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德国PI Physik Instrumente 光学实验位移台 六足位移台 H-811.I2/I2V

一、H-811.I2/I2V六轴小型位移台产物特点：

1、&辫濒耻蝉尘苍;17 毫米&苍产蝉辫;/ ±21度运动行程

2、5公斤负载容量

3、重复精度&辫濒耻蝉尘苍;0.06微米

4、运动速度20 毫米/秒

5、采用无刷直流电机，因为无刷直流电机适合高旋转速度，可在保证精度的同时无磨损地平稳运行。

二、H-811.I2/I2V六轴小型位移台产物应用领域：

H-811.I2/I2V六轴小型位移台主要应用领域为科研领域和工业领域，用于微制造，医药技术，刀具检查。

叁、H-811.I2/I2V六轴小型位移台产物产物参数：

型号：H-811.I2/.I2V

行程参数：

主动轴：X，Y，Z，θX，θY，θZ

X、Y向上的行程：&辫濒耻蝉尘苍;17,±16毫米

Z向上的行程：&辫濒耻蝉尘苍;6.5毫米

θX、θY向上的行程：&辫濒耻蝉尘苍;10,±10度

θZ向上的行程：&辫濒耻蝉尘苍;21度

精度参数：

设计分辨率：5纳米

X、Y向上的位移：0.2微米

Z向上的位移：0.08微米

θX、θY向上的位移：2.5微弧度

θZ向上的位移：5微弧度

X、Y向上的空回：0.2微米

Z向上的空回：0.06微米

θX、θY向上的空回：2微弧度

θZ向上的空回：4微弧度

X、Y向上的重复精度：&辫濒耻蝉尘苍;0.15微米

Z向上的重复精度：&辫濒耻蝉尘苍;0.06微米

θX、θY向上的重复精度：&辫濒耻蝉尘苍;2微弧度

θZ向上的重复精度：&辫濒耻蝉尘苍;3微弧度

X、Y和Z向上的速度：20/10毫米/秒

θX、θY、θZ向上的速度：500/250毫弧度/秒

Typ.X、Y和Z向上的典型速度：10/5毫米/秒

Typ.θX、θY、θZ向上的速度：240/120毫弧度/秒

负载参数：

负载能力（底板为水平方向）：5千克

负载能力（底板为任意方向）：2.5千克

保持力（断电、底板为水平方向）：15牛

保持力（断电、底板为任意方向）：2.5牛

其他参数：

电机类型：BLDC电机

工作温度范围：0到50°C

质量：2.2千克

德国PI Physik Instrumente 光学实验位移台 六足位移台 H-811.I2/I2V